愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600維修保養(yǎng)，愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH1000，江蘇愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600，全國一級代理商愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600，現(xiàn)貨供應(yīng)愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600維修配件，全國上門保養(yǎng)愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600，歡迎來電咨詢：13826954831 楊生
愛德華真空泵IH600/IH1000在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的使用，一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用，可以更快的為客戶提供所需真空，同時螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒，腐蝕性氣體非常合適。
Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH600/1000 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
愛德華真空泵針對不同的行業(yè)，推出不同的真空泵配型，不同的行業(yè)，由于使用環(huán)境和工作運行狀態(tài)不同，需要的產(chǎn)品性能不同，因此愛德華真空泵產(chǎn)品類型眾多，沒一款產(chǎn)品都是針對不同的行業(yè)使用有著非常明顯的效果，在高真空和超高真空領(lǐng)域有著非常強大的領(lǐng)導(dǎo)地位。
行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
IH600訂貨號：
iH600 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59020957
愛德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600性能參數(shù)：
| 峰值速度 | 600 m3h-1 |
| 353 cfm | |
| 10000 l min-1 | |
| 極限真空 | 7 x 10-4?mbar |
| 5.3 x 10-4?Torr | |
| 0.07 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 415 kg |
| 極限功率輸入 | 3.4 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.43 l |
IH1000性能參數(shù)：
| 峰值速度 | 1000 m3h-1 |
| 589 cfm | |
| 16670 l min-1 | |
| 極限真空 | 1 x 10-3?mbar |
| 7.5 x 10-4?Torr | |
| 0.1 Pa | |
| 典型軸封氮流量 | 4 slm |
| 進氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW40 |
| 15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
| 4 l min-1 | |
| 重量 | 430 kg |
| 極限功率輸入 | 3.8 kW |
| 電機額定功率 | 6.1 kW |
| 油容量 | 1.48 l |
iH1000 干式泵 460V，60 Hz，3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V，60 Hz，3 相
A59030957
