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愛德華半導(dǎo)體干泵EPX180L系列維修銷售

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新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX系列主要特性和優(yōu)勢
1.占地面積小且重量輕 – 作為可用的 最小工具上泵之一,EPX 顯著節(jié)省了 占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧,增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節(jié)省了前級管道和 安裝成本,如果需要也可遠程使用。
2.受專利保護的獨特泵機構(gòu) – EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運轉(zhuǎn)。
3.超清潔機構(gòu) – 傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤滑,這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂,并且不存在 任何其他的潛在污染源。
4.非常可靠 – EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年維修一次,最大程度地延長了泵的 使用壽命。
5.運轉(zhuǎn)時的噪聲低至 56 dB(A),可在潔凈室內(nèi)實現(xiàn)低噪聲。

EPX 系列支持清潔和輕 型半導(dǎo)體加工應(yīng)用,如灰化/剝離和注入端點 站應(yīng)用。
EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能,可實現(xiàn)異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck? 分級機構(gòu), 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。
EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能,既可集成到制程工具,又可以遠程 安裝。此外,通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。

EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù):

峰值速度 170 m3h-1
  105 ft3min-1
  2835 lmin-1
極限真空  
  <1 x 104?mbar
  <7.5 x 10-5?Torr
  <1 x 10-2?Pa
預(yù)熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
入口法蘭 ISO63
出口法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接頭 3/8 in 快速
最小冷卻水流速 2 lm-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
電源供給 200/208 V,50/60 Hz 三相
極限功率 1.4 kW
電機額定功率 3.0 kW
TIM C3
重量 43.5 kg

 

EPX180L訂貨號:
EPX180L 干泵 400V,3/8 水接頭
A41941014
EPX180L 干泵 208V C3 TIM 9/16 水接頭
A41941132
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941212
EPX180L 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41941222
EPX180L 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941312
EPX180L 干泵 400V E73 TIM 3/8 水接頭
A41941314
EPX180L 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41941412
EPX180L 干泵 400V LAM TIM 3/8 水接頭
A41941514
EPX180L 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41941712
EPX180L 干式泵 200V
A41941002
EPX180L 干式泵 200V,3/8 水接頭
A41941012
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941112
EPX180L 干式泵 400V 1/4 水接頭
A41941024
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941142
EPX180L 干式泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41941152
EPX180L 干式泵 400V SPI TIM 3/8 水接頭
A41941214

EPX180LE系列訂貨號:

EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 3/8 水接頭
A4194301
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 3/8 水接頭
A41943014
EPX180LE 干泵 208V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943022
EPX180LE 干泵 400V 無 TIM 1/4 水接頭
A41943024
EPX180LE 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41943112
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41943212
EPX180LE 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943222
EPX180LE 干泵 400V SPI TIM 1/4 水接頭
A41943224
EPX180LE 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41943412
EPX180LE 干泵 208V Hitachi TIM 3/8 水接頭
A41943612
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943712
EPX180LE 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41943714
EPX180LE 干泵 208V MCM TIM 1/4 水接頭
A41943722

EPX180“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應(yīng)用范圍擴大為中等制程,在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
訂貨號:
EPX180N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
A41942112
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
A41942212
EPX180N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
A41942222
EPX180N 干泵 208V E73 TIM 3/8 水接頭
A41942312
EPX180N 干泵 208V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942412
EPX180N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
A41942414
EPX180N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942712
EPX180N 干泵 400V MCM TIM 3/8 水接頭
A41942714
EPX180N 干式泵 400V,3/8 水接頭
A41942014

愛德華真空泵由于產(chǎn)品的多樣化,所以每一個型號都有著很大的系列,不同的系列應(yīng)用在不同的行業(yè)有著非常明顯的效果,因此,在購買愛德華真空泵產(chǎn)品是需要謹慎選項,歡迎有任何愛德華真空泵需求的客戶來電咨詢。

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