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iXL 高性能干式真空泵機組，從低到高抽速應有盡，滿足各種真空鍍膜，氣量需求。
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。
這些性能領先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內無須 維護。

適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵
iXL120：緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可 快速抽空負載鎖定艙室，能耗極低?？?用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。
一流的艙室抽空時間可減少 總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑 期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供給有助于降低設備冷卻水要求
極小且極輕， 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

品雅真空是愛德華真空泵全國一級代理商，專業(yè)銷售和維修愛德華真空泵系列，萊寶真空泵，阿特拉斯真空泵，安捷倫分子泵，島津分子泵，漢鐘螺桿真空泵，普旭真空泵等等，提供各種進口真空泵配件耗材，真空泵油等。

iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場領先 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠性實現低擁有成本。

可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的 完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有最大可靠性。

iXH 泵采用模塊化設計，符合 當今的制程要求，并且對于前沿工廠中不斷涌現的應用挑戰(zhàn) 有著路線明確的應對計劃。

東莞市品雅真空設備有限公司專用維修愛德華螺桿泵IXL120E系列產品，提供維修配件及真空泵油。

IXL120E技術參數：

訂貨號：

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113711

iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114010
iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54114020
iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114210
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭
A54114410
iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114011
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54114411

東莞市品雅真空設備有限公司專業(yè)銷售愛德華螺桿泵IXL120E系列產品，可以為客戶提供上門安裝服務，最快的訂貨周期滿足可以使用需求。

愛德華螺桿泵IXL120E/NE優(yōu)勢及功能：

一流的艙室抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)

僅僅 0.55kW 的功耗有助于最大程度減少客戶擁有成本

環(huán)保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功耗

最高 35?oC 的水供給有助于降低設備冷卻水要求

極小且極輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間

油潤滑的精密軸承可確保順暢、低振動的運行，無需例行維護工作。

獨特的雙入口布置可實現高效的前級輸送和位置選件

零氮吹掃選件無需氮氣供給，從而節(jié)省安裝和運行成本

XL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗?？捎糜谳p負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的最小且最安靜的泵之一。此產品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環(huán)境。

一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUPIPUP2：緊湊型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。

IPUP2 小巧輕便，適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中，從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間，同時最大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設備使用率，從而降低使用成本， 有助于保護環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用， 可提高處理能力，同時減少能耗。

3 萬億次循環(huán) MTBF
與原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供適用于現有 IPUP™ 的 插入式替換部件