愛德華新型干泵EPX500N/NE系列,全國愛德華新型干泵EPX500N/NE系列代理商，四川德陽愛德華新型干泵EPX500N/NE系列維修保養(yǎng)，愛德華新型干泵EPX500N/NE系列使用壽命，半導(dǎo)體行業(yè)愛德華新型干泵EPX500N/NE系列，歡迎來電咨詢：13826954831? 楊生
東莞市品雅真空設(shè)備有限公司多年來一直從事進(jìn)口真空泵的銷售和維修，我們主要經(jīng)營銷售的品牌有，萊寶，愛德華，安捷倫，瓦里安，阿特拉斯，阿爾卡特，漢鐘等，常年現(xiàn)貨供應(yīng)各種進(jìn)口真空泵的維修配件，耗材，真空泵油等。
新的緊湊型 EPX500 N/NE高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5?Torr 的極限壓力。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程，在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
模塊化 EPX500 基于備受贊譽(yù)、大獲成功的 IPX 系列，可提供卓越的性能，與 IPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
行業(yè)應(yīng)用：
負(fù)載鎖
傳輸腔
PVD 濺射
灰化/PR 剝離
電介質(zhì)刻蝕
EPX 系列涵蓋廣泛的應(yīng)用，從水處理到中度工作負(fù)載的制程。
EPX500N/NE性能 參數(shù)：
| 峰值速度 | 500 m3h-1 |
| 295 ft3min-1 | |
| 8338 lmin-1 | |
| 極限真空 | |
| <1 x 10-6?mbar | |
| <7 x 10-7?Torr | |
| <1 x 10-4?Pa | |
| 預(yù)熱時間（達(dá)到標(biāo)稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO160 |
| 出口法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 最小冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮氣供給壓力 | 3 x 105?– 7 x 105?Pa |
| 最低氮純度 | 99.95% |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz，3 相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | C3 |
| 重量 | 45.2 kg |
EPX500N訂貨號：
EPX500N 干泵 208V C3 TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干泵 208V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX500N 干泵 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500N 干式泵 400V，3/8 水接頭
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EPX500NE訂貨號：
EPX500NE 208V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V 無 TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V 無 TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V SPI TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V SPI TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V TEL TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V TEL TIM 1/4 水接頭
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EPX500NE 208V LAM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 208V MCM TIM 3/8 水接頭
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EPX500NE 400V MCM TIM 3/8 水接頭
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性能優(yōu)勢：
緊湊的占地面積 – 作為可用的最小工具上泵之一，EPX 顯著節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
低運行成本 – EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可最大化功率效率。
獨特的專利保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
超清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
非常可靠 – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp?(SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的使用壽命。
可兼容的網(wǎng)絡(luò) – EPX 系列配有最終用戶控制，可以連接到各種結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。
