一、影響現(xiàn)實(shí)真空系統(tǒng)的因素——污染

污染當(dāng)對(duì)真空室進(jìn)行抽空時(shí)，真空室必須干凈，以盡快達(dá)到所需壓力。總結(jié)真空系統(tǒng)典型的污染物包括：

1.生產(chǎn)真空系統(tǒng)產(chǎn)生的殘?jiān)砻?、螺絲釘和密封件上的油脂

2.與應(yīng)用相關(guān)的污染物過程反應(yīng)產(chǎn)物、灰塵和顆粒

3.環(huán)境相關(guān)的污染物冷凝蒸汽，特別是吸附在容器壁上的水分。

因此，在安裝真空設(shè)備時(shí)有必要確保部件盡可能干凈。真空室中安裝的所有部件必須干凈、無油脂。安裝的所有密封件必須干燥。如果無法避免使用真空潤滑脂，且根本是輔助安裝而不是作為密封膠，必須非常謹(jǐn)慎地使用。如果將要產(chǎn)生高真空或超高真空，在裝配過程中必須佩帶干凈、不掉毛、無粉手套。

二、影響現(xiàn)實(shí)真空系統(tǒng)的因素——冷凝和蒸發(fā)

冷凝和蒸發(fā)所有物質(zhì)都可出現(xiàn)液體、固體或氣體狀態(tài)。他們的聚集狀態(tài)是壓力和溫度的作用。液體通過蒸發(fā)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)，固體通過升華轉(zhuǎn)化為氣態(tài)。將液體或固體從氣相分離出來稱為冷凝。由于正常的環(huán)境空氣每立方米大約含有?10 g?水蒸氣，所以冷凝的水蒸氣都存在于所有表面。

由于水分子的強(qiáng)極性，表面的吸附特別明顯。天然纖維，特別是紙，在真空條件下的干燥過程中，含有大量從該過程中逸出的水分。冷凝器用于分離水蒸氣。甚至某些金屬（鎘、鋅、鎂）在幾個(gè)?100°C?高溫下可大量蒸發(fā)。因此，避免在設(shè)備施工中使用這些金屬。

三、影響現(xiàn)實(shí)真空系統(tǒng)的因素——?dú)堄鄽怏w組成

殘余氣體組成在超高真空中工作時(shí)，重要的是，在開始真空工藝之前或?yàn)榱吮O(jiān)控工藝，需要了解殘余氣體的組成。水的百分比(m/e = 18)?及其不完整部分?OH (m/e = 17)?在真空室不干凈或烘烤不徹底的情況下降會(huì)很大。在?N2/O2?之比大約為4:1?時(shí)，可通過氮(m/e = 28)?和氧?(m/e = 32)?的峰值來確定泄漏。

可在完全烘烤好的腔室中發(fā)現(xiàn)氫?(m/e = 2)、水?(m/e =17?和?18)、一氧化碳?(m/e = 28)?和二氧化碳?(m/e = 44)。

在使用渦輪分子泵時(shí)，將不會(huì)發(fā)現(xiàn)烴。由于高分子量和所得到的高壓縮比，他們有效地被排除在腔室之外。

四、影響現(xiàn)實(shí)真空系統(tǒng)的因素——排氣

為避免不必要的污染，應(yīng)該使用干燥的氮?dú)獯婵諝鈱?duì)真空室進(jìn)行排氣。這防止水蒸氣和環(huán)境空氣中的其他可冷凝物（如溶劑蒸汽）沉積（吸附）在容器壁上。

與抽空操作相比，由于解吸過程緩慢，每種冷凝物都會(huì)延長后續(xù)的排空時(shí)間。如果已經(jīng)使用惰性氣體對(duì)容器進(jìn)行排氣，只有在需要在容器內(nèi)部進(jìn)行必要的工作時(shí)才打開容器。由于維修人員動(dòng)作造成的對(duì)流或由于擴(kuò)散，長時(shí)間打開容器將會(huì)導(dǎo)致環(huán)境空氣中的水蒸氣進(jìn)入。

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