在真空系統(tǒng)中,殘余氣體是影響真空工藝性能及真空器件壽命的重要因素。因?yàn)檎婵障到y(tǒng)中的殘余氣體及某些有害氣體，會破壞真空系統(tǒng)的性能，還可能會促發(fā)某些損壞真空室內(nèi)應(yīng)用器件的現(xiàn)象。在實(shí)際工作中，有時(shí)不但要降低真空器件中殘余氣體的量，更要控制殘余氣體的成份。

從高真空及超高真空的角度來看，真空系統(tǒng)內(nèi)的殘余氣體是-一個(gè)必須引起注意的問題。

殘余氣體往往造成真空系統(tǒng)內(nèi)部的表面污染，從而達(dá)不到真空工藝所要求的結(jié)果(例如，不

能獲得所需沉積的薄膜或者是使放電及等離子的狀況發(fā)生變化)的重要原因。另外，對超高

真空系統(tǒng)來說，殘余氣體的成分對系統(tǒng)的極限壓力往往產(chǎn)生重要影響，如果抽氣系統(tǒng)或抽氣

的工藝方法選擇不當(dāng)，會使真空系統(tǒng)達(dá)不到預(yù)期的本底壓力。

真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分是與真空系統(tǒng)的作業(yè)種類及工藝(如，鍍膜、金屬熔煉等)和所用的抽氣系統(tǒng)的類型有關(guān)，今天主要分析機(jī)械泵機(jī)械真空泵及油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng):

一、機(jī)械真空泵及油擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)

(1) 在低真空下使用的真空裝置中，殘余氣體主要為空氣(O2、N2…; 如果操作工藝中有化學(xué)反應(yīng)，就要加上反應(yīng)生成氣體的成分;若是脫氣熔煉裝置，則要加上由熔煉金屬放出的氣體;如果是冷凍干燥裝置還要加上水蒸汽成分.

(2)在只用油封機(jī)械泵連續(xù)進(jìn)行長時(shí)間抽氣的真空裝置中，當(dāng)無泄漏時(shí)，殘余氣體中

有:有機(jī)物及水蒸汽。

(3)在用油擴(kuò)散泵抽氣的高真空裝置中，殘余氣體中主要有:有機(jī)物和水蒸氣。此時(shí)，若以性能良好的硅油作工作液或在抽氣系統(tǒng)中加入冷阱和擋板，則可大大降低殘余氣體中的有機(jī)碳?xì)浠衔?，但是加上擋板和冷阱使抽氣系統(tǒng)的抽速下降。

(4)在機(jī)械泵與擴(kuò)散泵當(dāng)中串入分子篩或活性氧化鋁的吸附阱，可以顯著地降低機(jī)械泵油蒸氣對系統(tǒng)的影響。

另外，擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)的正確操作也可以降低系統(tǒng)中的有機(jī)油蒸汽的分壓。

只要采用用油作工作介質(zhì)的真空抽氣系統(tǒng),殘余氣體中的油蒸汽及各種有機(jī)物就較多。

在不經(jīng)加熱烘烤除氣處理的裝置中，由于器壁吸附的水蒸氣的放出，殘余氣體中的主要成分

多為水蒸汽。